晶英石板模具组装控制系统设计开题报告

 2024-06-23 17:30:12

1. 本选题研究的目的及意义

随着电子信息产业的快速发展,晶圆作为半导体元器件的核心材料,其需求量与日俱增。

晶圆制造过程中,切割环节至关重要,而板模组装是切割工艺中的关键步骤,直接影响切割精度和效率。

传统的板模组装主要依靠人工操作,存在效率低下、精度难以保证、易产生人为误差等问题,难以满足现代化制造业对高精度、高效率、自动化的要求。

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2. 本选题国内外研究状况综述

近年来,随着半导体技术的飞速发展,晶圆制造技术也在不断进步,对晶圆切割精度和效率的要求越来越高。

板模组装作为晶圆切割的重要环节,其自动化和智能化水平也越来越受到重视。

1. 国内研究现状

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3. 本选题研究的主要内容及写作提纲

本课题主要研究内容如下:1.深入研究晶圆切割工艺流程和板模组装工艺要求,分析板模组装过程中关键控制点和影响因素,为控制系统设计提供理论依据。

2.研究视觉定位、运动控制、传感器技术等关键技术,并选择合适的硬件平台和软件架构,构建晶英石板模具组装控制系统。

3.设计和开发控制系统的关键模块,包括运动控制模块、视觉定位模块、板模组装算法模块、人机交互界面等。

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4. 研究的方法与步骤

本课题研究将采用理论分析、实验研究和仿真模拟相结合的方法。


1.理论分析:通过查阅国内外相关文献资料,深入研究晶圆切割工艺流程、板模组装工艺要求、视觉定位技术、运动控制技术、传感器技术等,为控制系统设计提供理论依据。


2.实验研究:搭建实验平台,对所设计的控制系统进行测试和评估,验证系统的性能指标和可靠性。

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5. 研究的创新点

本课题研究的创新点主要体现在以下几个方面:
1.提出一种基于视觉定位的晶英石板模具组装方法:针对传统人工组装效率低、精度难以保证的问题,本课题将视觉定位技术引入到板模组装过程中,通过视觉传感器获取板模的精确位置信息,引导机械臂完成自动组装,提高组装精度和效率。


2.设计一种高精度、高效率的晶英石板模具组装控制系统:本课题将设计一种集视觉定位、运动控制、传感器技术于一体的控制系统,实现板模组装过程的自动化和智能化。

控制系统将采用模块化设计,方便后期维护和升级。

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6. 计划与进度安排

第一阶段 (2024.12~2024.1)确认选题,了解毕业论文的相关步骤。

第二阶段(2024.1~2024.2)查询阅读相关文献,列出提纲

第三阶段(2024.2~2024.3)查询资料,学习相关论文

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7. 参考文献(20个中文5个英文)

1.孙立宁,杜志江,蔡鹤皋.机器人技术发展趋势与展望[J].机器人,2016,38(01):1-9.

2.黄攀峰,王耀南,刘金平.面向智能制造的工业机器人技术发展趋势[J].机械工程学报,2017,53(17):1-13.

3.李瑞峰,彭海军,王耀南.机器人技术研究现状与发展趋势综述[J].机械设计与制造,2019(01):260-265 270.

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